Bộ truyền động Panasonic + động cơ trục rỗng đảm bảo hoạt động-lâu dài, hiệu suất cao-và ổn định.
Cấu trúc động cơ tốc độ cao{0}}trục rỗng: Tốc độ định mức: 5000 vòng/phút, tốc độ tối đa 6000-8000 vòng/phút.
Thời gian tăng tốc/giảm tốc cực nhanh: 47750R/S².
Tiếng ồn thấp, độ rung thấp, hệ số đảo đầu trục thấp tới 0,01mm.
Thiết kế trục rỗng chân không và thiết kế đầu trục độc đáo đảm bảo vận hành trơn tru.
Công suất động cơ: 750/1000W, thiết kế hệ thống làm mát bằng nước-, đáp ứng yêu cầu của tấm bán dẫn 6 inch, 8 inch và 12 inch.
Thiết kế đầu trục tùy chỉnh có sẵn cho những người dùng khác nhau.
