Với sự phát triển của ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc, việc phát triển các thành phần chính cho thiết bị xử lý đã trở thành một hạn chế quan trọng đối với việc phát triển thiết bị. Khi lời kêu gọi nội địa hóa công nghệ bán dẫn trong nước ngày càng mạnh mẽ, ngày càng nhiều công nghệ nút thắt trong ngành bán dẫn sẽ được khắc phục. Dựa trên nhiều năm kinh nghiệm trong ngành bán dẫn, công ty chúng tôi đã phát triển một động cơ servo-trục rỗng-tốc độ cao để hấp phụ các tấm bán dẫn trong lớp phủ bán dẫn, thiết bị phát triển và thiết bị làm sạch. Động cơ này có khả năng tăng tốc cao, dải tốc độ rộng và khả năng phản hồi cao và đã được nhiều khách hàng trong ngành khen ngợi.
Các ứng dụng của động cơ servo trục-rỗng:
Thiết bị phơi sáng và phát triển (phủ, tráng): Thiết bị chính cho quá trình quang khắc, kiểm soát lớp phủ, phơi nhiễm và tráng ảnh.
Thiết bị làm sạch, phủ, phát triển và loại bỏ màng.
Thích hợp cho quá trình làm sạch vật lý, làm sạch hạt và phun.
Thông số kỹ thuật sản phẩm và lĩnh vực ứng dụng của động cơ servo trục rỗng:
750W/1000W – 5000, 6000 vòng/phút
Lĩnh vực ứng dụng (Mô hình{0}}cao cấp):
Thiết bị bán dẫn 8 inch và 12 inch.
Các quá trình như phủ, phát triển, làm sạch và khắc.
Khả năng tăng tốc tối đa có thể đạt tới khả năng tăng tốc tức thời 50000 R/S².
Thiết kế đầu trục đặc biệt đảm bảo hệ số đảo tải cuối trục thấp nhất.
